Flera israeliska medier har rapporterat att Mossad låg bakom söndagens sabotage, med hänvisning till källor inom den israeliska underrättelsetjänsten. Israeliska regeringen har inte kommenterat saken.
Natanz är en av Irans största anläggningar för urananrikning, och startade så sent som i lördags tre nya urancentrifuger vid en ceremoni ledd av president Hassan Rohani.
Åtgärden är i strid med Irans åtaganden enligt 2015 års kärnenergiavtal med de permanenta medlemmarna i FN:s säkerhetsråd (USA, Kina, Ryssland, Frankrike och Storbritannien). Regimen i Teheran ser sig dock inte bunden av överenskommelsen sedan USA:s tidigare president Donald Trump hoppade av det och införde sanktioner mot Iran.
Förra veckan inleddes EU-ledda Iransamtal i Wien, som beskrivs som ett närmande mellan Washington och Teheran.
Ingen kom till skada och några radioaktiva utsläpp skedde inte i samband med händelsen i Natanz, enligt den iranska nyhetsbyrån Fars.
Iranska myndigheter beskriver tillbudet i Natanz som ”kärnenergiterrorism”.
– Sionisterna vill hämnas eftersom vi har varit framgångsrika i arbetet med att lyfta sanktionerna. De har sagt rakt ut att de inte kommer att tillåta detta. Men vi kommer att hämnas på sionisterna, säger utrikesministern Mohammad Javad Zarif i statlig tv, syftande på Israel.